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순수성의 정밀함: 반도체 제조에서 초순수 모니터링을 위한 Rosemount 3051 사용

2025-10-22

순수한 정밀성: 반도체 제조에서 초순수(UPW) 모니터링을 위한 Rosemount 3051 사용

반도체 제조 세계에서, 물은 단순한 물이 아닙니다—이는 중요한 원자재입니다. 초순수(UPW)는 웨이퍼 린싱, 세척 및 화학 물질 희석에 광범위하게 사용됩니다. 아주 작은 오염이라도 수율을 저하시키거나, 섬세한 미세 구조를 손상시키거나, 첨단 집적 회로의 성능을 저하시킬 수 있습니다. 이것이 바로 UPW 시스템의 실시간, 신뢰할 수 있는 모니터링이 모든 팹에 필수적인 이유입니다.

초순수가 중요한 이유

엄격한 순도 요구 사항: 반도체 등급 UPW는 입자, 이온, 유기물 및 용존 가스가 없어야 합니다.
수율에 직접적인 영향: 단 하나의 불순물이라도 나노미터 규모의 회로에 결함을 일으킬 수 있습니다.
지속적인 수요: 최신 팹은 매일 수백만 리터의 UPW를 소비하므로 효율성과 신뢰성은 타협할 수 없습니다.

압력 측정의 역할

전도도 및 입자 계수기가 UPW 모니터링에서 종종 주목을 받지만, 압력 송신기는 조용하지만 중요한 역할을 합니다:

여과 및 연마 장치 전체에서 안정적인 흐름 보장
펌프 및 멤브레인을 과압으로부터 보호
누출 감지 및 시스템 무결성 검사 지원

Rosemount 3051 소개

Emerson의 Rosemount 3051 압력 송신기는 UPW 애플리케이션을 위한 입증된 솔루션입니다. 정확성, 안정성 및 진단의 조합은 전 세계 팹에서 신뢰할 수 있는 선택입니다.

UPW 시스템의 주요 장점

높은 정확성 및 안정성: 정밀한 차압 및 게이지 압력 판독값을 제공하여 여과 및 분배 루프의 일관된 모니터링을 보장합니다.
고급 진단: 내장된 루프 무결성 검사를 통해 생산에 영향을 미치기 전에 습기 침투 또는 불안정한 전원 공급 장치와 같은 문제를 감지합니다. Emerson.
모듈식 설계: 유연한 구성을 통해 스키드 장착형 UPW 시스템에 쉽게 통합할 수 있습니다.
글로벌 신뢰성: 중요한 산업 분야에서 Emerson의 실적을 바탕으로 3051은 가동 중단이 비용이 많이 드는 환경에서 가동 시간을 보장합니다.

응용 예시

반도체 팹의 UPW 연마 루프에서:

Rosemount 3051 차압 송신기는 초고성능 필터를 모니터링합니다.안정적인 판독값은 필터 상태를 확인하고 조기 교체를 방지합니다.
통합 진단은 잠재적인 문제에 대해 운영자에게 경고하여 계획되지 않은 유지 관리를 줄입니다.
향후 전망

반도체 형상이 축소되고 순도 요구 사항이 강화됨에 따라,

Rosemount 3051과 같은 강력한 계측기는 계속 필수적일 것입니다. 정밀 측정과 지능형 진단을 결합함으로써 팹은 제품 품질과 운영 효율성을 모두 보호할 수 있습니다.

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